在CZ化工流程泵中，工作液主要担负的重要功能是密封、润滑阀门和轴承以及将铝壳上的压缩和摩擦热传导出去以实现对泵体的冷却。
使用传动装置和润滑剂保持油位是CZ化工流程泵重要的预防性维护和日常维护。如果油液位下降过低，那么泵系统就再也不能得到润滑。
油位过低还将造成无法对压缩热量实现耗散。泵过热会导致工作液迅速老化，缺乏润滑和油碳形成将会导致泵故障。要确保CZ化工流程泵的油位不能低于观测镜的中间位置。
需要定期对工作液的颜色、粘性和污染物进行检查。工作液中水含量超过5%会呈现乳白色。这种情况在气震阀关闭时、抽真空过程在工作液仍然冰冷的状态下开启或超出更大蒸汽能力时发生。
工作液颜色的变化范围适用于P3 泵油。为防止该现象的发生，建议每12个月更换一次真空泵油。
排气管道也要与泵的公称直径相一致，否侧公称尺寸过小或气体流量过大都会导致不可接受的背压，这给CZ化工流程泵带来持续的机械压力，并导致泵的磨损和故障增加。另外，噪音水平也会显著上升。
由于CZ化工流程泵进行压缩作业，因此势必会释放出热量，所以要为其提供足够的通风，这样才能较好的对CZ化工流程泵使用。
